| 利用光照射到多層薄膜界面時(shí)產(chǎn)生的多層反射、干涉進(jìn)行膜厚測(cè)定 |
| 適用于可以透光的薄膜物質(zhì) |
| （1） 測(cè)定單層膜和其它膜的厚度（標(biāo)準(zhǔn)程序：22種） |
| （2） 反射色度及透過(guò)色度測(cè)定 |
| （3） 分光反射比率測(cè)定和分光透過(guò)比率測(cè)定 |
| （4） 自動(dòng)取點(diǎn)測(cè)量功能 |
| （5） 測(cè)定數(shù)據(jù)的備份以及管理功能 |
| （6） 測(cè)定數(shù)據(jù)的膜厚值修正功能。圖表顯示，直方圖顯示，統(tǒng)計(jì)計(jì)算，俯視圖顯示，等高線圖顯示，斷面圖顯示功能。 |
| （7） 測(cè)定膜種類的用戶定義功能 |
| （8） 自動(dòng)對(duì)焦功能 |
| （9） 電動(dòng)轉(zhuǎn)輪功能 |
| （10） 濾光器自動(dòng)交換功能 |
| （11） TV顯示功能 |
| 產(chǎn)品性能： |
| 搭載可能尺寸: 最大：450*400mm ；最�。�300*260mm |
| 測(cè)量可能范圍: 最大：450*350mm |
| 透過(guò)可能范圍: 最大：400*325mm |
| 膜厚測(cè)定范圍: 100Å-20μm |
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