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配備了帶有廣域照明與局部照明的大型電動臺板，可讀取
位置坐標(biāo)，并配有上料/下料機(jī)的自動顯微鏡檢查系統(tǒng)

・使用相對于光學(xué)顯微鏡鏡筒下射斜光光源
・更易于觀察立體的畫面
・適合觀察表面異物、臺階形狀

產(chǎn)品性能:
    被測物尺寸:  Max X465mm * Y360mm  t1.1mm
    觀察范圍:    Max X465mm * Y360mm  (落射觀察時)
                 Max X449mm * Y344mm  (透過觀察時)
    載物臺行程: X675mm*Y370mm
    電動坐標(biāo)重復(fù)性: ±10um
    最小設(shè)定分辨力: 1um