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東朋TechnologiesFP-20AB段差測定裝置（觸針式膜厚測定） |
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| 產(chǎn)品型號：FP-20AB |
| 產(chǎn)品單位：1臺 |
| 生產(chǎn)廠家：東朋Technologies |
| 出廠年份：2003年10月 |
| 產(chǎn)品用途： |
| 產(chǎn)品說明： |
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1:裝有觸針式臺階測定器（KLA-Tencor)的膜厚測定器
2:可以進行較大基板的膜厚自動測定
1．基板尺寸:最大670mm*670mm
2．測量范圍 ：670mm*670mm
3．X－Y臺
驅(qū)動距離 :670mm*670mm (電機驅(qū)動)
定位重復(fù)精度 :2um/1 Sigma (含觸針下降精度)
4．旋轉(zhuǎn)臺
回轉(zhuǎn)角度 :0-360º
分辨能力 :0.1º
定位重復(fù)精度 :4um/1 Sigma (離開回轉(zhuǎn)中心100mm處的位置重復(fù)精度)
5.垂直方向分辨力/范圍 :2.0Å/±13um
:10.0Å/±65um
6.測量重復(fù)性
測量范圍13um時、具有10Å(1 sigma)的重復(fù)性 |
| 上一條：凹凸檢查裝置 |
| 下一條：FIB聚焦離子束加工觀察裝置FB-2100 |
| 液晶設(shè)備聯(lián)系人：尹先生 |
觸摸材料聯(lián)系人：殷小姐 |
| 聯(lián)系電話：0755-89800161-8016 |
聯(lián)系電話：0755-89800161-8047 |
| 移動電話：138 0220 7511 |
移動電話：131 6872 1408 |
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